书目详细信息
： 半导体制造与过程控制基础
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-25665-6:CNY60.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体制造与过程控制基础/.(美)Gary S. May，(美)Costas J. Spanos著/.李虹，肖春虹，马俊婷译 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2009 |
| 载体形态项： | 11,377页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 国际信息工程先进技术译丛 |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control |
| 提要文摘： | 本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。 |
| 并列题名： | Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control eng |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 梅凯瑞 (美) (May, Gary S.) 著 |
| 个人名称等同： | 斯帕诺斯 (美) (Spanos, Costas J.) 著 |
| 个人名称次要： | 李虹 (电子工程) 译 |
| 个人名称次要： | 肖春虹 译 |
| 个人名称次要： | 马俊婷 译 |
| 记录来源： | CN hhxytsg 2010.5 |