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： 原子层沉积制造技术及生物传感应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-45124-8:CNY158.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 原子层沉积制造技术及生物传感应用/.刘磊著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2024.03 |
| 载体形态项： | 224页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书共分七章,主要内容包括原子层沉积(ALD)技术的基本原理、特点、系统和工作模式,聚焦于ALD技术的拓展,涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用,介绍了该技术在生物医学检测领域的前沿发展,在阐明ALD技术基本原理的同时,介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。 |
| 并列题名： | Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications eng |
| 题名主题： | 纳米技术 应用 生物传感器 研究 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 刘磊 著 |
| 记录来源： | CN JCXA 20240910 |